VACC bietet diese kostenlose Kompendium der kritischen Vakuum

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Grundlagen

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Vacuum Technology Ver?ffentlichungen

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  • Semiconductor International. Monatliche Cahners Ver?ffentlichung gewidmet Halbleiterverarbeitung Themen. Auf dem Netz: www.semiconductor.net
  • Solid State Technology. Eine monatliche PennWell Ver?ffentlichung, on-line verf¨ıgbar: www.solid-state.com
  • The Journal of Vacuum Science & Technology A. Vacuum, Surfaces and Films. Erscheint sechsmal j?hrlich von der American Vacuum Society
  • The Journal of Vacuum Science & Technology B. Microelectronics and Nanometer-Strukturen. Erscheint sechsmal j?hrlich von der American Vacuum Society
  • Vacuum. Die internationale Zeitschrift Vacuum ver?ffentlicht hochwertigem Papier ¨ıber die j¨ıngsten Fortschritte in den vielen Bereichen erforderlich unter Druck einer Atmosph?re. Ver?ffentlicht von Pergamon Press, einer Abteilung von Elsevier B¨ıcher und Zeitschriften

Variable Leak-Ventile

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  • RA Langley, et.al., "Gas-Einspritzsystem f¨ır die Advanced Toroidal Facility", JVST A7 (1989) 2423
  • Robert A. Langley und Paul LaMarche, "Variable Ventile / Auslaufendes", Vacuum Technology & Coating, April 2003, S.24
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